VISUS系列晶圆表面缺陷检测机台

AOI (Auto Optical Inspection) 应用于先进封装的缺陷检测，其工作原理就是将实际图像与标准图像进行比较对比。其核心是CCD摄像系统抓取图片，然而通过图像处理卡与计算机处理软件系统等系列的算法处理后，与标准图像进行对比，发现缺陷并生产报告。AOI系统是集精密机械、自动控制、光学图像处理、软件系统等多学科的自动化设备。

晶圆AOI检测是基于先进封装晶圆表面图像，应用相应算法实现硅片表面的缺陷检测；光学系统主要由高解析度CCD相机、光学镜头和多角度彩色光源组成，具备明场和暗场等不同照明模式，波长及亮度可调，可满足多种晶圆表面缺陷探测需求；通过高精度、高速度运动平台配合相机同步扫描高速获取硅片图像。机台采用高速图像分布式并行计算处理技术、无图案硅片图像处理及缺陷检测算法、有图案硅片图像处理及缺陷检测算法、硅片缺陷特征提取及分类算法。