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VISUS系列研发型IC外观检测机台

针对芯片工艺开发过程中的芯片外观量测和检测需求,我们为研发人员提供一款高解析度3D和2D外观量测与检测机台,帮助客户及时检测芯片工艺问题,优化工艺过程; 机台可以对Wafer level或Panel Level做全局检测或多点抽样检测;

研发型AOI
屏幕快照2019-06-28上午11.58.49