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TFT系列集成式晶圆薄膜量测系统

基于反射谱的薄膜测厚仪,适用于介质、半导体、薄膜滤波器和液晶等薄膜和涂层的厚度测量。

 

它是基于白光干涉的原理来测定薄膜的厚度和光学常数(折射率n,消光系数k)。它通过分析薄膜表面的反射光和薄膜与基底界面的反射光相干形成的反射谱,用相应的软件来拟合运算,得到单层或多层膜系各层的厚度d、折射率n (λ) 和消光系数k (λ) 等数据。

 

基于晶圆在线式薄膜量测需求,匠岭自主开发了用于8寸/12寸晶圆制造的TFT系列薄膜量测系统。此系统兼顾量测精度、可靠性和经济适用性,现已开放客户样片测试服务。

 

如需申请样片测试请联络 chengang@engitist.com

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