TFT系列离线式薄膜膜厚量测仪

基本配置

• 光源支持更宽的光谱范围：190nm~2300nm
• 标准波长范围为200nm~1000nm，波长可以扩展到1600nm以满足特殊需要
• 半导体认证的软件系统
• 支持用于OCD量测的数据获取
• 可支持通过图像识别来定位晶圆
• 快速聚焦系统
• 支持Face-Up或Face-Down两种类型
• 支持多种光斑尺寸以满足不同的应用需要
• 支持4~12寸晶圆和其他不规则或破损样片

半导体应用案例

• 半导体普通材料：Si, SiO2, Nitride(SixNy), photomasks, resistant etc.
• Low-k介电质：SiOF, BD, FSG, BLOK etc.
• High-k介电质： AlxOy, SiOxNy, HfO2, HfSiO4, Ta, TaN, TiN etc.
• 多层堆叠： ONO, NO periodic structure, OPO and other complex stacks.
• 其他应用：Alloy, SOI, Copper reflectivity etc.
• 光伏材料：a-Si, μc-Si, poly-Si, AR Coatings (SiNx, AlNx…), Sb2 Se3, CdS, CIGS etc.

光电显示应用案例

• TFT： TCO Films (ITO, ZnOx, doped SnO2, AZO), Polyimide, MoN, TI, TIN, A-Si etc.
• OLED： Al, Alq3, MgAg, ITO HDPL, Znq, Gaq, Bebq, Balq, DPVBi, ZnSPB, PBD, OXD, BBOT etc.
• LED：ITO, GaN, GaAsP, AlN, ZnO, Al2O3 etc.
• LCD：ITO, a-Si, SiO2 etc.
• 多层材料
• 透明基板和金属基板