INSIHGT TO YIELD OPTIMIZATION

Wafer Process Control
Advanced Package
MEMS
Micro-LED
首页    微观薄膜量测    TFT系列离线式薄膜膜厚量测仪

TFT系列离线式薄膜膜厚量测仪

基本配置

  • 光源支持更宽的光谱范围:190nm~2300nm
  • 标准波长范围为200nm~1000nm,波长可以扩展到1600nm以满足特殊需要
  • 半导体认证的软件系统
  • 支持用于OCD量测的数据获取
  • 可支持通过图像识别来定位晶圆
  • 快速聚焦系统
  • 支持Face-Up或Face-Down两种类型
  • 支持多种光斑尺寸以满足不同的应用需要
  • 支持4~12寸晶圆和其他不规则或破损样片

 

半导体应用案例

  • 半导体普通材料:Si, SiO2, Nitride(SixNy), photomasks, resistant etc.
  • Low-k介电质:SiOF, BD, FSG, BLOK etc.
  • High-k介电质: AlxOy, SiOxNy, HfO2, HfSiO4, Ta, TaN, TiN etc.
  • 多层堆叠: ONO, NO periodic structure, OPO and other complex stacks.
  • 其他应用:Alloy, SOI, Copper reflectivity etc.
  • 光伏材料:a-Si, μc-Si, poly-Si, AR Coatings (SiNx, AlNx…), Sb2 Se3, CdS, CIGS etc.

 

光电显示应用案例

  • TFT: TCO Films (ITO, ZnOx, doped SnO2, AZO), Polyimide, MoN, TI, TIN, A-Si etc.
  • OLED: Al, Alq3, MgAg, ITO HDPL, Znq, Gaq, Bebq, Balq, DPVBi, ZnSPB, PBD, OXD, BBOT etc.
  • LED:ITO, GaN, GaAsP, AlN, ZnO, Al2O3 etc.
  • LCD:ITO, a-Si, SiO2 etc.
  • 多层材料
  • 透明基板和金属基板

 

屏幕快照2019-05-29下午7.11.20
屏幕快照2019-05-28上午10.38.45