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TFT系列离线式薄膜膜厚量测仪

基本配置

  • 标准波长范围为220nm~1000nm,波长可以扩展到1600nm以满足特殊需要
  • 可支持通过图像识别来定位晶圆
  • 快速聚焦系统
  • 支持Face-Up或Face-Down两种类型
  • 支持多种光斑尺寸以满足不同的应用需要

 

应用案例

  • 普通材料:Si, SiO2, Nitride(SixNy), photomasks, resistant etc.
  • 光伏材料:a-Si, μc-Si, poly-Si, AR Coatings (SiNx, AlNx…), Sb2 Se3, CdS, CIGS etc.
  • TFT: TCO Films (ITO, ZnOx, doped SnO2, AZO), Polyimide, MoN, TI, TIN, A-Si etc.
  • OLED: Al, Alq3, MgAg, ITO HDPL, Znq, Gaq, Bebq, Balq, DPVBi, ZnSPB, PBD, OXD, BBOT etc.
  • LED:ITO, GaN, GaAsP, AlN, ZnO, Al2O3 etc.
  • LCD:ITO, a-Si, SiO2 etc.
  • 多层材料
  • 透明基板和金属基板

 

屏幕快照2019-05-29下午7.11.20
屏幕快照2019-05-28上午10.38.45