TFT系列离线式薄膜膜厚量测仪
基本配置
- 光源支持更宽的光谱范围:190nm~2300nm
- 标准波长范围为200nm~1000nm,波长可以扩展到1600nm以满足特殊需要
- 半导体认证的软件系统
- 支持用于OCD量测的数据获取
- 可支持通过图像识别来定位晶圆
- 快速聚焦系统
- 支持Face-Up或Face-Down两种类型
- 支持多种光斑尺寸以满足不同的应用需要
- 支持4~12寸晶圆和其他不规则或破损样片
半导体应用案例
- 半导体普通材料:Si, SiO2, Nitride(SixNy), photomasks, resistant etc.
- Low-k介电质:SiOF, BD, FSG, BLOK etc.
- High-k介电质: AlxOy, SiOxNy, HfO2, HfSiO4, Ta, TaN, TiN etc.
- 多层堆叠: ONO, NO periodic structure, OPO and other complex stacks.
- 其他应用:Alloy, SOI, Copper reflectivity etc.
- 光伏材料:a-Si, μc-Si, poly-Si, AR Coatings (SiNx, AlNx…), Sb2 Se3, CdS, CIGS etc.
光电显示应用案例
- TFT: TCO Films (ITO, ZnOx, doped SnO2, AZO), Polyimide, MoN, TI, TIN, A-Si etc.
- OLED: Al, Alq3, MgAg, ITO HDPL, Znq, Gaq, Bebq, Balq, DPVBi, ZnSPB, PBD, OXD, BBOT etc.
- LED:ITO, GaN, GaAsP, AlN, ZnO, Al2O3 etc.
- LCD:ITO, a-Si, SiO2 etc.
- 多层材料
- 透明基板和金属基板
产品与技术
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