TFT系列离线式薄膜膜厚量测仪
基本配置
- 标准波长范围为220nm~1000nm，波长可以扩展到1600nm以满足特殊需要
- 可支持通过图像识别来定位晶圆
- 快速聚焦系统
- 支持Face-Up或Face-Down两种类型
- 支持多种光斑尺寸以满足不同的应用需要
应用案例
- 普通材料：Si, SiO2, Nitride(SixNy), photomasks, resistant etc.
- 光伏材料：a-Si, μc-Si, poly-Si, AR Coatings (SiNx, AlNx…), Sb2 Se3, CdS, CIGS etc.
- TFT： TCO Films (ITO, ZnOx, doped SnO2, AZO), Polyimide, MoN, TI, TIN, A-Si etc.
- OLED： Al, Alq3, MgAg, ITO HDPL, Znq, Gaq, Bebq, Balq, DPVBi, ZnSPB, PBD, OXD, BBOT etc.
- LED：ITO, GaN, GaAsP, AlN, ZnO, Al2O3 etc.
- LCD：ITO, a-Si, SiO2 etc.
- 多层材料
- 透明基板和金属基板
