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TFT系列全功能膜厚量测机台

基本配置

 

  • 可扩展宽波长量测系统
  • 微环境管理系统
  • 图像识别系统
  • 高精度运动平台
  • 可定制型EFEM与FA
  • 半导体认证软件系统
  • 快速量测以满足更高WPH
截屏2022-11-1022.15.32
屏幕快照2019-05-28上午10.38.45