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TFT系列自动化晶圆膜厚量测机台

基本配置

可扩展宽波长量测系统
微环境管理系统
图像识别系统
高精度运动平台
可定制型EFEM与FA
半导体认证软件系统
快速量测以满足更高WPH

ꄴ上一个： TFT系列离线式薄膜膜厚量测仪

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TFT60-41

屏幕快照2019-05-28上午10.38.45

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