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TFT系列全功能膜厚量测机台

基本配置

可扩展宽波长量测系统
微环境管理系统
图像识别系统
高精度运动平台
可定制型EFEM与FA
半导体认证软件系统
快速量测以满足更高WPH

ꄴ上一个： TFT系列离线式薄膜膜厚量测仪

ꄲ下一个：无

截屏2022-11-1022.15.32

屏幕快照2019-05-28上午10.38.45

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